Journal of vacuum science & technology. B, microelectronics and nanometer structures : processing, measurement and phenomena

Biblioteca: Sistema Bibliotecario di Ateneo, BUP. Biblioteca Universitaria Povo, via Sommarive 5, Povo di Trento

Titolo precedente: Journal of vacuum science & technology. B, microelectronics processing
Note: Lacuna cartacea 2008-2013

Cartaceo (e/o DVD, CD-ROM, microfilm, ecc.)

Disponibile dal 1991 al 2016
ISSN: 0734-211X

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Testo completo degli articoli dal 1983

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