Journal of vacuum science & technology. B, microelectronics and nanometer structures : processing, measurement and phenomena

Biblioteca: Biblioteche UniTrento
BUP. Biblioteca Universitaria Povo
via Sommarive 5, Povo di Trento
Anno Volume Numero Posseduto
2016 34 6 November/December Sì
2016 34 5 September/October Sì
2016 34 4 July/August Sì
2016 34 3 May/June. - Special Issue on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS) Sì
2016 34 2 March/April Sì
2016 34 1 January/February Sì
2015 33 6 November/December Sì
2015 33 5 September/October Sì
2015 33 4 July/August Sì
2015 33 3 May/June Sì
2015 33 2 March/April Sì
2015 33 1 January/February Sì
2014 32 6 November/December Sì
2014 32 5 September/October Sì
2014 32 4 July/August Sì
2014 32 3 May/June. - High-k Dielectrics Sì
2014 32 2 March/April Sì
2014 32 1 January/February Sì
2008-2013 26-31 1 -6 No
2007 25 6 Sì
2007 25 5 Sì
2007 25 4 Sì
2007 25 3 Sì
2007 25 2 Sì
2007 25 1 Sì
2006 24 6 Sì
2006 24 5 Sì
2006 24 4 Sì
2006 24 3 Sì
2006 24 2 Sì
2006 24 1 Sì
2005 23 6 Sì
2005 23 5 Sì
2005 23 4 Sì
2005 23 3 Sì
2005 23 2 Sì
2005 23 1 Sì
2004 22 6 Sì
2004 22 5 Sì
2004 22 4 Sì
2004 22 3 Sì
2004 22 2 Sì
2004 22 1 Sì
2003 21 6 Sì
2003 21 5 suppl. Sì
2003 21 5 Sì
2003 21 4 Sì
2003 21 3 Sì
2003 21 2 Sì
2003 21 1 Sì
2002 20 6 Sì
2002 20 5 Sì
2002 20 4 Sì
2002 20 3 Sì
2002 20 2 Sì
2002 20 1 Sì
2001 19 1 -6 Sì
2000 18 1 -6 Sì
1996-1999 14-17 1 -6 Sì
1991-1995 9-13 1 -6 Sì