Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
| Title | Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies |
|---|---|
| Author | Lindroos Veikko |
| Publisher | William Andrew |
| ISBN | 9780323299657 |
| Subject | Scienza dei materiali |
| Branch of learning | Scienza dei materiali |
| Publishing year | 2015 |
| Abstract | Materials Science 2015 |
| Index | |
| Collection | Elsevier eBooks |
| Publisher homepage | http://www.sciencedirect.com.ezp.biblio.unitn.it/science/books/all/subscribed |
| Publisher abstract | |
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